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올해 5대 생산해 SMIC·CXMT 등에 공급
CXMT 상장 돌풍에 '기술 자립' 자신감 폭발
장비 성능 미검증·증시 과열에는 경계론 중국이 '반도체 굴기'의 최대 병목으로 꼽혀 온 노광장비 생산을 시작했다고 27일 미국 디인포메이션 등이 보도했다.게티이미지뱅크 
중국이 '반도체 굴기'의 최대 병목으로 꼽혀 온 노광장비 자체 생산에 돌입했다.중국 최대 D램 업체 창신메모리테크놀로지(CXMT)가 상장 첫날 중국 본토 증시 시가총액 1위에 오른 직후 전해진 소식이다.미국의 첨단기술 수출 통제 속에서도 중국의 반도체 자립이 속도를 내고 있다는 자신감이 분출하고 있다.
27일(현지시간) 미국 정보기술 전문매체 디인포메이션과 로이터통신에 따르면 상하이 소재 한 국유 지원 업체는 자체 개발한 액침식 심자외선(DUV) 노광장비 생산을 시작했다.올해 약 5대를 만들어 중국 최대 파운드리(반도체 위탁생산) 업체 SMIC와 화훙반도체,CXMT 등에 공급하고,내년에는 생산량을 약 20대로 늘릴 계획이다.첫 장비들은 연내 실제 반도체 생산라인에 투입돼 성능과 신뢰성을 검증받을 것으로 알려졌다.
노광장비는 빛으로 웨이퍼에 미세한 회로를 새기는 반도체 핵심 장비다.중국은 미국 주도 수출통제로 네덜란드 ASML의 극자외선(EUV) 장비를 확보하지 못하는 데다 최신 액침식 DUV 장비 수입도 제한받고 있다.국산 장비의 소량 생산이 시작됐다는 사실만으로도 중국이 기존 수입 장비와 해외 유지·보수 서비스에 대한 의존도를 낮출 발판을 마련했다는 평가가 나오는 이유다.
DUV를 개발해 낸 회사의 정체에도 관심이 쏠린다.업체명은 공개되지 않았지만,외신에 따르면 단일 기업이라기보다 상하이 위량성테크놀로지 등 여러 중국 반도체 장비업체의 DUV 연구개발 인력을 끌어모은‘국산화 연합체’에 가까운 것으로 전해졌다.핵심축으로 거론되는 위량성은 상하이시 국유자본과 화웨이 연구개발 인력이 주축이 된 회사 신카이라이(新凯来·SiCarrier)가 합작 설립한 업체다.다만 생산 주체가 위량성인지는 확인되지 않아,중국 정부 자본과 화웨이계 기술 인력,복수의 장비업체가 결합한 별도 업체라는 관측에 무게가 실린다.
